,

The Physics of Micro/Nano-Fabrication

Gebonden Engels 1993 1992e druk 9780306441462
€ 240,99
Levertijd ongeveer 9 werkdagen
Gratis verzonden

Samenvatting

In this revised and expanded edition, the authors provide a comprehensive overview of the tools, technologies, and physical models needed to understand, build, and analyze microdevices. Students, specialists within the field, and researchers in related fields will appreciate their unified presentation and extensive references.

Specificaties

ISBN13:9780306441462
Taal:Engels
Bindwijze:gebonden
Aantal pagina's:622
Uitgever:Springer US
Druk:1992

Lezersrecensies

Wees de eerste die een lezersrecensie schrijft!

Inhoudsopgave

1. Preliminary Survey.- 2. Particle Beams: Sources, Optics, and Interactions.- 3. Plasmas: Physics and Chemistry.- 4. Layering Technologies.- 5. Pattern Generation.- 6. Microcharacterization.- 7. Limits to Nanofabrication.- Appendixes.- Author Index.

Managementboek Top 100

€ 240,99
Levertijd ongeveer 9 werkdagen
Gratis verzonden

Rubrieken

    Personen

      Trefwoorden

        The Physics of Micro/Nano-Fabrication